Forschungsgebiete
Hauptarbeitsgebiet
ist die grundlagenorientierte Vorlaufforschung, um neue und verbesserte Silicium-Eigenschaften
durch Defect Engineering zu erzielen.
Ein Forschungs-Schwerpunkt sind ausgedehnte Kristalldefekte. Sie sollen definiert
erzeugt werden und ihre elektrischen und optischen Eigenschaften kontrolliert
beeinflusst werden können. Damit wird der Grundstein gelegt für den
Einsatz von Kristalldefekten als aktive Komponenten von neuartigen Bauelementen,
wie z.B. für IR-Lichtemitter oder als Hochbeweglichkeitskanäle für
schnelle Transistoren. Ein weiteres Arbeitsfeld ist die Beherrschung der Kristalldefekte
in Si-Wafern und in kristallinem Si für Solarzellen.
Die Arbeiten gliedern sich wie folgt:
Versetzungs-Engineering für
- Si-Lichtemitter für die optische Datenübetragung On-the-chip
- Andere Anwendungen, wie zukünftige THz-FET oder die kontrollierte Platzierung
von Si-Molekülen an der Si-Oberfläche
Si-Nanostrukturen
- Bandstrukturdesign in Si/SiO2-Multi-Quantum-Wells, z.B. für künftige
Solarzellen-Generationen
- Lichtemission in Si-Nanodrähten
Si-Wafer für zukünftige Technologiegenerationen
- Zusammenarbeit mit der Siltronic AG
- Einfluss der horizontalen und vertikalen Lagerung von Si-Wafer grossen Durchmessers
während der Hochtemperatur-Prozessierung
Si-basierte Photovoltaik
- Elektrische Aktivität von Kristalldefekten in Solar-Si
- Gezielte Beeinflussung durch externes Gettern und Wasserstoff-Behandlung
Entwicklung/Verbesserung mikroskopischer und spektroskopischer Mess- und Diagnosemethoden
zur Anwendung auf die o.g. Forschungsgebiete
- Mikroskopische Synchrotron-Techniken (XBIC, µXRF, µXAS) zur sensiblen
Analyse von Kristalldefekten in Si
- Erhöhung der Empfindlichkeit der FT-IR-Spektroskopie
- Evaluierung der Elektronen-Holographie (abgeschlossen)
Im Rahmen von Drittmittel-Projekten werden am IHP und von Partnern die erforderlichen Proben/Strukturen präpariert: wie MPI Halle, RWTH Aachen, Siltronic AG, Deutsche PV-Industrie, University Twente, Zhejiang University et al.
Die Tabelle zeigt die Entwicklung anhand der erreichten Kern-Ergebnisse.
Weitere Arbeiten befassen sich mit
- Laser-Material Wechselwirkung (selbstorganisierte Nanostrukturen)
- Diagnostischer Unterstützung der IHP-Pilotlinie
- Einbettung der Ergebnisse der Si-Materialforschung in die Kette Material -
Technologie - Schaltung - System